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| 「高純度EC-H」（炭酸エチレン）は、主にエレクトロニクス分野で使用されているレジストの剥離剤です。炭酸エチレンは中性のため、銅やアルミニウムなど金属配線材料にダメージを与えないという利点があります。従来のレジスト剥離剤と異なり、無臭で、高温でも蒸気圧が低く、環境負荷が小さいという特徴があります。消防法の危険物に該当しないため、設備なども従来のレジスト剥離剤と比較して安価にできます。さらに、オゾン処理によるリサイクル（剥離EC中のレジスト分解）および劣化EC回収リサイクルシステムによりリサイクルが可能であり、環境負荷の低減に寄与しています。 | ||||||
●オゾン処理によるリサイクルシステム
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